光刻工藝要經(jīng)歷哪些工序？
來源：www.ehwe.cn
時間：2021-08-29 13:26
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編輯：niming
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光刻工序編輯一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序
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